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本單位經(jīng)過不斷的開發(fā),建立了完善的二元光學(xué)元件(DOE )設(shè)計、加工工藝;到目前為止,已經(jīng)為“中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所”、“成都印鈔造幣廠”、“綿陽九院八所”、“華中科技大學(xué)”等科研院所和企業(yè)提供合格的DOE器件供貨。
在設(shè)計方面:課題組深入研究基于標(biāo)量衍射理論的G-S算法、直接二元搜索法(DBS)、模擬退火算法(SA)、遺傳算法(GA)、能量守恒算法及基于矢量衍射理論的積分法、微分法、模態(tài)法、耦合波法,開發(fā)出多款專業(yè)光學(xué)設(shè)計軟件,可提供全局最優(yōu)設(shè)計方案。
在加工方面:課題組開展高深寬比納米結(jié)構(gòu)的制備研究,成功實現(xiàn)大角度、無畸變、復(fù)雜圖形的設(shè)計、加工、制備。產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):器件口徑:<100mm;器件材料:熔融石英、BK7、硅、鍺、硒化鋅、K9、氟化鈣、藍(lán)寶石等;
可實現(xiàn)的DOE元件類型如下
光束整形器DOE> 光束整形器 | 準(zhǔn)直平頂光模組 | 勻光片 勻化鏡 | M型光束整形鏡 | 帶聚焦的光束整形器 | 定制光東整形器 | 光束整形專用聚焦鏡
焦點控制DOE> 多焦點DOE | 長焦深DOE | 玻璃切割模組 | DeepCleave激光成絲切割模組 , 用于玻璃切割的DeepCleave激光成絲模組
分束鏡> 分束器 | 激光采樣器 | 定制激光分束器 | 國產(chǎn)分束器
螺旋相位板> 螺旋相位板 渦旋相位片 | 連續(xù)面形螺旋相位片 ,渦旋相位板 | RPC螺旋相位板 ,多臺一螺旋相位片
其它DOE> 衍射軸錐鏡 軸棱鏡DOE | 艾里光束DOE | 三光點DOE | 激光模式轉(zhuǎn)換器 | 多圓環(huán)發(fā)生器 | 雙波長聚焦鏡 | 三波長聚焦鏡 | 衍射光學(xué)元件
典型DOE樣品資料展示: