衍射光學(xué)元件的尤其和功效

       衍射光學(xué)元件是光刻機(jī)中的一系列可挪動(dòng)鏡片，關(guān)鍵用以造成光刻需要的燈源。光刻機(jī)的燈源約為4000鏡片。

衍射光學(xué)元件的特點(diǎn)：

       衍射光學(xué)元件的特點(diǎn)是它能夠在維持高衍射效率的另外，確立地上手光抗壓強(qiáng)度遍布。因而，衍射光學(xué)元件變成離軸照明燈具的理想化部件。一般用以光刻系統(tǒng)軟件衍射光學(xué)元件的離軸照明燈具，子模塊的總數(shù)必須低于10個(gè)，設(shè)計(jì)方案信息量很大，而且單元尺寸做到μm乃亞微米的量級(jí)。

       光線沿直線傳播。當(dāng)光線穿過小圓孔或穿過輪廊明晰的邊沿時(shí)，順著小圓孔的邊沿會(huì)造成干預(yù)樣圖。結(jié)果是圖象模糊不清，而不是預(yù)估在光和黑影中間發(fā)生的圖象。邊沿清楚，光線好像順著間隙的邊沿彎折。這類狀況稱之為衍射。

衍射效率：

       衍射效率是評(píng)定衍射光學(xué)元件和包括衍射光學(xué)元件的映射-衍射混和光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵指標(biāo)值。在光根據(jù)衍射光學(xué)元件以后，造成好幾個(gè)衍射級(jí)。一般，僅關(guān)心主衍射級(jí)的光，而別的衍射級(jí)的光在主衍射級(jí)的像表面產(chǎn)生雜散光眼，進(jìn)而減少了像面的飽和度。因而，衍射光學(xué)元件的衍射效率立即危害衍射光學(xué)元件的顯像品質(zhì)，必須準(zhǔn)確地測(cè)量衍射光學(xué)元件的衍射效率。

補(bǔ)水面膜的衍射：

       光的衍射與光刻技術(shù)性息息相關(guān)，由于投射掩膜具備小的清楚圖案設(shè)計(jì)和狹小的間隔。在曝出期內(nèi)，光一定要穿過這種圖案設(shè)計(jì)，衍射圖案設(shè)計(jì)會(huì)帶去曝出的能量，并使光散發(fā)，進(jìn)而造成 光致抗蝕劑的未曝出地區(qū)曝出。當(dāng)孔鐘頭，比如觸碰孔小到200nm時(shí)，這個(gè)問題更為比較嚴(yán)重。衍射造成的干預(yù)樣圖會(huì)使小觸碰孔和小線無法光刻。