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衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements) 簡(jiǎn)稱 DOE元件, 又稱二元光學(xué)器件,主要用于激光束整形,比如均勻化、準(zhǔn)直、聚焦、形成特定圖案等。
法國SILIOS成立于2001年,SIIOS公司提供客戶定制的衍射光學(xué)元件DOE,適用于對(duì)Nd:YAG、CO2、飛秒激光器、半導(dǎo)體激光器等各種激光器進(jìn)行光束整形。根據(jù)不同的應(yīng)用需求,衍射光學(xué)元件DOE可以作為全息片或菲涅耳波帶片。
其主要產(chǎn)品包括:
l 激光分束:根據(jù)定義的衍射圖案(規(guī)則或無規(guī)則的點(diǎn)陣),使單個(gè)入射激光光束分裂成多束出射光束。
l 光束整形:通常用于把高斯光束整形成平頂?shù)墓馐凑諒?qiáng)度要求的圓形或者方形的光斑。
l 圖像生成:用于生成比如logo,方形,線條,或者圓環(huán)。根據(jù)客戶的需要定制。
l 衍射透鏡:用于校正色差像差。
主要應(yīng)用包括激光光束整形(如激光加工、醫(yī)療、成像系統(tǒng)、傳感器,圓形或方形平頂光束整形,矩陣、柵格、線形、圓形圖案整形)和用作天文學(xué)中的相位器件。典型應(yīng)用描述如下:
1. 在科研中應(yīng)用: 摻鈦藍(lán)寶石的泵浦光整形;腔內(nèi)激光束整形; 飛秒激光束整形。
2. 在醫(yī)療中應(yīng)用: 對(duì)去皺紋的Er: G*ass激光束整形;對(duì)治療血管損傷的KTP激光束整形;對(duì)治療眼角膜的準(zhǔn)分子激光束整形。
3. 在激光加工中應(yīng)用:焊接;切割;熱處理;打標(biāo)。
4. 在天文學(xué)中應(yīng)用:大氣擾動(dòng)模擬相位片;多個(gè)望遠(yuǎn)鏡鏡片相位調(diào)整;行星探測(cè);成像系統(tǒng)的像差矯正相位片。
DOE元件
四川久光科技有限公司專注于衍射光學(xué)元件、微透鏡陣列元件、DOE元件等微結(jié)構(gòu)光學(xué)的研發(fā)與生產(chǎn),公司正式成立于2015年,現(xiàn)有專業(yè)科研成員20余名,公司位于成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)工業(yè)集中區(qū)(西航港科技企業(yè)孵化中心)。
微結(jié)構(gòu)光學(xué)是指以微、納米尺度結(jié)構(gòu)對(duì)光波參量進(jìn)行操控的研究方向;中科院光電所微結(jié)構(gòu)光學(xué)研究團(tuán)隊(duì)以發(fā)展微納結(jié)構(gòu)光學(xué)設(shè)計(jì)、微納結(jié)構(gòu)核心光學(xué)元件制備工藝及集成化新型光學(xué)系統(tǒng)為宗旨。在國家、總裝重大工程及國民經(jīng)濟(jì)需求的牽引下,已經(jīng)形成了全套的、系統(tǒng)的微納結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制備工藝體系。
2006年,董小春博士在國際上提出了全新的“掩模移動(dòng)濾波”微結(jié)構(gòu)成形技術(shù),攻克了“任意排列、非球面面形”微透鏡陣列的成形難題(APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 261105 2006及董小春博士學(xué)位論文),形成了規(guī)則/非規(guī)則排布、高填充因子、無正交性誤差的微結(jié)構(gòu)(包括位相片、微透鏡)成形工藝; 在此基礎(chǔ)上,研究團(tuán)隊(duì)通過校正光刻與刻蝕工藝過程中的非線性誤差,實(shí)現(xiàn)了微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件面形的準(zhǔn)確控制。實(shí)現(xiàn)了低像差、成像級(jí)微光學(xué)結(jié)構(gòu)制備。