淺談衍射光學(xué)元件

　　衍射的概念光沿著直線傳播，當(dāng)光穿過一個(gè)小孔或經(jīng)過一個(gè)輪廓分明的邊緣時(shí)，沿小孔邊緣產(chǎn)生了干涉圖形，結(jié)果得到了一個(gè)模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現(xiàn)象被稱做衍射 。

　　衍射效率衍射效率是評價(jià)衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的重要指標(biāo)之一。光線通過衍射光學(xué)元件后，會產(chǎn)生多個(gè)衍射級次，一般只是關(guān)注主衍射級次的光線，其他衍射級次的光線在主衍射級像面上形成雜散光，降低像面的對比度。因此，衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量，對衍射光學(xué)元件衍射效率的精確測量是十分必要的 。掩膜版的衍射光的衍射和光刻密切相關(guān)，因?yàn)橥队把谀ぐ嫔嫌行〉那逦鷪D形并且間距很窄。曝光時(shí)，光必須通過這些圖形。衍射圖樣奪走了曝光能量，并使光發(fā)散，導(dǎo)致光刻膠上不要曝光的區(qū)域被曝光。這個(gè)問題在孔小時(shí)更嚴(yán)重，例如小到200nm的接觸孔。由衍射引起的干涉圖樣能使小接觸孔和小線條很難被光刻。