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達曼光柵
達曼光柵是一種具有特殊孔徑函數(shù)的二值相位光柵,其對入射光波產(chǎn)生的夫瑯和費衍射圖樣是一定點陣數(shù)目的等光強光斑,完全避免了一般振幅光柵因函數(shù)強度包絡(luò)所引起的譜點光強的不均勻分布。
將達曼光柵置于傅里葉變換透鏡前,如圖17.30所示,經(jīng)單位振幅的平面波照射,將在透鏡的后焦面上得到間距相等的光點陣列分布。設(shè)光柵的相位是二值的,即零或T,光柵的周期規(guī)化為1,為了得到2M+1級等光強的光束分布必須對光柵的每一個周期進行空間坐標的調(diào)制,利用這種微細結(jié)構(gòu)的周期重復(fù)即可得到一種特殊結(jié)構(gòu)的相位光柵,經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計使輸出面上所要求的角譜范圍內(nèi)的光強均等。為簡化設(shè)計過程,往往先設(shè)計其唯一結(jié)構(gòu),然后在正交方向展開,得到二維達曼光柵。
顯然,光柵及其譜完全由光柵結(jié)構(gòu)中那些突變點坐標所決定。結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計實質(zhì)上是要尋找一組相位突變點坐標集。
光柵各衍射級功率譜與光柵實際周期T無關(guān),只與光柵結(jié)構(gòu)尺寸有關(guān)。因此,設(shè)計時通常將周期歸一化。繪制掩模圖形時,將光柵結(jié)構(gòu)尺寸乘上T,即可得到光柵一個周期的實際相位分布。
與其他衍射結(jié)構(gòu)的光學(xué)分束器相比,達曼光柵屬于傅里葉變換型的分束器,具有光斑陣列光強均勻性,不受入射光波分布影響和可以產(chǎn)生任意排列的點陣等優(yōu)點。目前,我國以已經(jīng)成功設(shè)計并制作了64X64分束的方形達曼光柵以及圓環(huán)形達曼光柵。