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微結(jié)構(gòu)光學(xué)是指以微、納米尺度結(jié)構(gòu)對光波參量進行操控的研究方向;中科院光電所微結(jié)構(gòu)光學(xué)研究團隊以發(fā)展微納結(jié)構(gòu)光學(xué)設(shè)計、微納結(jié)構(gòu)核心光學(xué)元件制備工藝及集成化新型光學(xué)系統(tǒng)為宗旨。在國家、總裝重大工程及國民經(jīng)濟需求的牽引下,已經(jīng)形成了全套的、系統(tǒng)的微納結(jié)構(gòu)設(shè)計與制備工藝體系。
2006年,董小春博士在國際上提出了全新的“掩模移動濾波”微結(jié)構(gòu)成形技術(shù),攻克了“任意排列、非球面面形”微透鏡陣列的成形難題(APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 261105 2006及董小春博士學(xué)位論文),形成了規(guī)則/非規(guī)則排布、高填充因子、無正交性誤差的微結(jié)構(gòu)(包括位相片、微透鏡)成形工藝; 在此基礎(chǔ)上,研究團隊通過校正光刻與刻蝕工藝過程中的非線性誤差,實現(xiàn)了微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件面形的準(zhǔn)確控制。實現(xiàn)了低像差、成像級微光學(xué)結(jié)構(gòu)制備。
2015年,研究團隊針對“掩模移動濾波技術(shù)”進行再次改進,通過對掩模進行二維編碼調(diào)控,建立了全新的“二維移動濾波技術(shù)”。該技術(shù)在保留“掩模移動濾波技術(shù)”所有優(yōu)點的基礎(chǔ)上,使移動濾波掩模的灰度等級提升了近10倍,實現(xiàn)了無散斑、低旁瓣、高能量利用率微透鏡陣列的準(zhǔn)確成形。
經(jīng)過不斷的發(fā)展,研究團隊建立了具有自主知識產(chǎn)權(quán)、集微光學(xué)器件設(shè)計、加工制作、檢測全過程的微結(jié)構(gòu)光學(xué)平臺。研究團隊是國內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)非球面面形、非規(guī)則排布微透鏡陣列制備的研究隊伍,目前與“成都印鈔造幣廠”、“中鈔長城貴金屬有限公司”“成都科奧達(dá)光電技術(shù)有限公司”、“綿陽綻放科技”、“深圳國寶金幣有限公司”“深圳拉姆達(dá)防偽技術(shù)有限公司”等單位建立合作關(guān)系,相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)在自適應(yīng)光學(xué)、CCD增強耦合、ICF光學(xué)系統(tǒng)像差校正等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。課題組將繼續(xù)本著“技術(shù)開拓、服務(wù)大眾”的原則,為國內(nèi)外用戶提供精密的、可靠的、快速的產(chǎn)品與服務(wù),歡迎相關(guān)企業(yè)及科研院所來電咨詢,合作研究。